新一代平面研磨抛光机中采用超声波振动修整法，能使工件迅速达到理想的镜面效果，主要由超声波发生器、换能器等所组成，在进行修整的时候，会将超声波振动修整的装置调到振动状态，当修整磨粒的时候会通过砂轮与修整的元件之间的时候，会利用修整的元件进行能量的传递，能够有效的去除砂轮表面的几何级，使其磨粒会突出砂轮的表面。
新一代平面研磨抛光机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于平整的研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压或其它方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的，由于这种方法主要是采用振动方式，在修整磨粒的本身会带有一定的能量，因此能够得到比较良好的修整效果，广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。
